洁净工程空间中温湿度介绍
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
净化工程优点介绍
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净化工程无尘车间介绍
在一些无尘车间中，出现对净化水准规定相对较低的中小型净化设备。这种小净化室的工程预算要求不高，因此也会导致协作厂房室内装修生产厂家的非系统化。并且由于工程造价清单太低也会导致施工企业施工过程中以次充好，应用输出功率相对较低的中央空调气压发电机组，导致排风输出功率和净化总面积不一致。
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